Professori Mikko Ritalan luento Studia Generalia -luentosarjassa 13.10.2011. Tilaisuuden teemana Aineen monet mahdollisuudet.
Atomikerroskasvatusta (ALD, atomic layer deposition) voi perustellusti kutsua nanoteknologian kolmen konstin timpermannin menetelmäksi. Tällä alkuaan Suomessa kehitetyllä menetelmällä valmistetaan ohutkalvomateriaaleja kontrolloidusti, atomikerros kerrallaan. ALD-menetelmässä kaasumaiset lähtöaineet pulssitetaan alustamateriaalin eli substraatin pinnalle vuorotellen (Kuva 1). Continue reading